在醫療領(ling)域應(ying)用的等離子體滅菌技術于(yu)20世紀80年(nian)代始于美國，Menashi等首先提齣滷素類氣體等離子體具有很強的殺(sha)菌(jun)作用，可用于(yu)非耐熱醫療器械的(de)快速滅菌，低溫等離子體滅菌(jun)技(ji)術(shu)1987年穫得。
美國強生公司研製(zhi)的(de)Starrad 100S過氧化氫等離(li)子體(ti)滅菌器，于1997年經FDA批準上市。現已在歐美、日本等髮(fa)達國傢醫療機構微創手術中廣(guang)汎使用(yong)。
2004年(nian)開始在我(wo)國推廣宣傳，已有幾十傢大型醫療單位開始使用。由此也使得等離子體低溫滅(mie)菌技(ji)術在我國醫(yi)療領域的使用(yong)得到廣汎的認衕。